MEMS陀螺仪如何进行信号温漂补偿

MEMS陀螺仪具有尺寸小、能耗低、质量轻、价格低等优点，应用广泛，但由于加工工艺的原因，目前微机械陀螺仪精度相对较低，陀螺仪结构尺寸、材料性质及检测电路中电子器件均会受温度影响，克服温度漂移、随机误差是提高微机械陀螺仪测量精度的关键。 陀螺仪基本原理 图1为单轴陀螺原理示意图，陀螺有2个互相垂直的振动方向，分别为激励方向X（驱动模态）和由科里奥利力引起的敏感振动方向Y （检测模态）。Ｘ 方向的驱动

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