MEMS加速度计有哪些类型？

MEMS加速度计有哪些类型？ MEMS加速度计以集成电路工艺和微机械加工工艺为基础，将电子原件和机械原件集成在一块芯片上，具有体积小、质量轻、成本低、能耗低、集成度高等一系列的优点，微加速度计的种类较多主要如下： 1、角振动加速度计、线振动加速度计 2、扭摆式加速度计、悬臂梁式加速度计、弹簧支撑式加速度计 3、电容式加速度计、电阻式加速度计、谐振式加速度计、热流式加速度计、隧道电流式加速度计 4、

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