MEMS加速度计的概念

MEMS加速度计的概念   加速度计是一种惯性传感器,能够测量物体的加速力。加速力就是当物体在加速过程受到的力,就比如地球引力。 加速力可以是个常量比如mg也可以是变量。由于采用了微机电系统技术,其尺寸大大的缩小了可以应用在生活、工业、军工、航天等各种领域,因为MEMS加速度计具有体积小、重量轻、能耗低等优点所以越来越多的应用在各行各业。 青岛智腾mems加速度计  MEMS加速度计是如何工作的?
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