Mems电容式加速度计的种类（一）

Mems电容式加速度计的种类（一） 随着科技发展加速度计从原来大的尺寸逐渐往小型化发展可以应用在各行各业并且在性能上更上一层楼，给人们的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。 Mems的加速度计分为六大类 电容式加速度计 压阻式加速度计 压电式加速度计 谐振式加速度计 隧穿式加速度计 热对流式加速度计 其中电容式加速度计的结构可分为三种结构： 1、跷板摆式加速度计 2、梳齿式硅微机械加速度计 3、

>>阅读原文<<