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SECS/GEM金南瓜讲解:通讯
时间 2021-01-18
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什么是GEM 控制状态? GEM板的控制状态是E30 GEM的基本要求之一。它定义了主机和设备之间的协作级别,并指定了操作员如何在不同级别的主机控制状态下进行交互。 在半导体工厂中,主机或操作员可以控制设备的加工。双方同时控制设备会带来问题。所以当一方控制设备时,另一方所能进行的操作将受到限制。例如,如果操作员暂停了工艺处理,则不应允许主机发送恢复处理或启动新作业的命令。GEM控制状态就是为了防止
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