MEMS最成功的产品是什么？

MEMS是当代国际瞩日的重大科技探索前沿阵地之一，新研发的MEMS样品不断被披露出来，从敏感MEMS拓展到全光通信用光MEMS、移动通信前端的RF-MEMS、微流体系统等信息MEMS。光MEMS包括微镜阵列、光开关、可变衰减器、无源互连耦合器、光交叉连接器、光分插复用器和波分复用器等，MEMS与光信号有着天然的亲和力；RF-MEMS包括射频开关、可调电容器、电感器、谐振器、滤波器、移相器、天线等关

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