MEMS智能传感器技术的新进展

来源：MEMS 引言 信息社会已步入智能时代发展阶段，智能手机、智能可穿戴设备、无线智能网络、智能汽车、智能无人机和智能机器人等智能设备的创新与发展正在或将要改变信息社会的各个方面，而作为智能时代发展的基础和关键技术之一，MEMS智能传感器也已进入快速发展的新阶段。 20世纪70年代后期随着微电子的发展，可赋予传感器以“智能”的功能，人们提出智能传感器的概念，其包含传感器、执行器、合适的电源、内在

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