MEMS传感器的未来在哪？

来源：MEMS技术 1  引言 陀螺是用于测量载体相对惯性空间旋转运动中运动角速度和角度的传感器，是运动控制、姿态监测、导航制导等领域的核心器件，在工业和国防领域具有广泛且重要的应用。陀螺从原理上可分为基于高速旋转刚体的定轴性与进动性工作的机械转子类陀螺、基于光的Sagnac效应的光学类陀螺、基于哥氏力效应的振动类陀螺、基于原子干涉的冷原子陀螺及基于原子自旋的核磁共振陀螺等。 其中，基于哥氏力效应

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