Mems传感器的分类简介

Mems传感器的分类简介 MEMS传感器介绍：MEMS的全称是微型电子机械系统微机电系统。 可批量制作的将微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。 也可以把它理解为利用传统的半导体工艺和材料，用微米技术在芯片上制造微型机械，并将其与对应电路集成为一个整体的技术。所以它是以半导体制造技术为基础发展起来的一种先进的制造技术平台。 Mems传

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