SECS协议基础知识

OK在被老师甩了三个压缩包的资料之后，终于明白了SECS是什么 然而Linux开发似乎遥遥无期… 先整理一下看的资料～冲就完事！ 协议框架 SECS（SEMI Equipment Communication standard）是由SEMI开发的半导体设备通讯标准 它分为物理部分和逻辑部分 物理部分：SECS-I（用于RS232接口）、HSMS（TCP/IP接口） 逻辑部分：SECS-II、GEM

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