电容式加速度传感器(你会知道的文章)

电容式加速度传感器(你会知道的文章)   加速度传感器是一种能够测量加速度力的设备,加速度力就是当物体在加速度过程中在物体上的力;比如地球引力、汽车加速时候的力、电梯上下的时候这些都是加速度力。 现代科技要求加速度传感器应用在很多领域比如:军工、空间系统、科学测量等领域需要使用体积小、重量轻、性能稳定的加速度传感器。 以传统加工方法制造的加速度传感器难以全面满足这些要求,于是应用新兴的微机械加工技
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