【PAT】part average testing[零件平均测试]

静态PAT限制程序 PAT程序的概述是： 从≥6个批次中抽取30个随机零件（与晶圆批次有5个区域不同的管芯）。在早期包括表征批次 为每个测试设置建立一个“稳健平均值”（µ），μ=统计中值，并根据四分位数（Q3和Q1）测量值计算出一个“稳健sigma”，即σ=（Q3-Q1）/1.35。 定义静态PAT限值= µ±6σ 如果分布不是高斯分布（3中的“正态”），则使用“可防御”技术来标记表现出相同概率的

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