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EUV光刻机全球出货量达57台
时间 2021-01-13
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来源:内容编译自「semiwiki」,谢谢。 IMEC是推动半导体技术前进的主要组织之一,日前,他们举办了一场线上论坛,谈及了对芯片现状和未来的看法。在演讲中,ASML总裁则对光刻的发展进行了演讲。从他的PPT中可以看到,浸入式光刻在过去九年中增长了两倍。 而ASML计划提高所有曝光工具每小时的晶圆数量。 与此同时, 他指出,EUV继续为ASML的客户提高产量,迄今为止,他们的客户已经使用EUV光
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