有关EUV光刻机，你需要知道这些

来源：technews 晶圆制造产业进入7 纳米制程之后，目前全世界仅剩台积电与三星，再加上号称自家10 纳米制程优于竞争对手7 纳米制程的英特尔等，有继续开发能力之外，其他竞争者因须耗费大量金钱与人力物力的情况下，都已宣布放弃。就在7 纳米制程节点以下先进制程的领域，必不可少的关键就是极紫外线微影（EUV）设备导入。除了三星用在首代7 纳米LPP 制程，台积电也自2019 年开始，将EUV 导入

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