有关EUV光刻机，你须要知道这些

来源：technewsapp 晶圆制造产业进入7 纳米制程以后，目前全世界仅剩台积电与三星，再加上号称自家10 纳米制程优于竞争对手7 纳米制程的英特尔等，有继续开发能力以外，其余竞争者因须耗费大量金钱与人力物力的状况下，都已宣布放弃。就在7 纳米制程节点如下先进制程的领域，必不可少的关键就是极紫外线微影（EUV）设备导入。除了三星用在首代7 纳米LPP 制程，台积电也自2019 年开始，将EUV

>>阅读原文<<