光刻机的工做原理及关键技术

来源：传感器技术 　　 光刻机的工做原理： 利用光刻机发出的光经过具备图形的光罩对涂有光刻胶的薄片曝光，光刻胶见光后会发生性质变化，从而使光罩上得图形复印到薄片上，从而使薄片具备电子线路图的做用。 这就是光刻的做用，相似照相机照相。 照相机拍摄的照片是印在底片上，而光刻刻的不是照片，而是电路图和其余电子元件。 简单点来讲，光刻机就是放大的单反，光刻机就是将光罩上的设计好集成电路图形经过光线的曝光印

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