Mems技术国内外究竟有哪些差距

一、美国专利数量远多于中国专利，国外技术研发水平大幅领先。经过对比可知，硅基MEMS制造技术领域美国专利数量远多于中国。其中，美国授权专利数量达4411件，公开专利申请总量达6648件。而该领域已公开中国专利申请总量为1799件，其中发明专利为1659件，实用新型为140件。已获得授权的发明专利数量为704件。 　　通过专利量年度分布可看出，近年美国授权专利以及专利申请量趋于平稳，表明该领域已从创

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