三轴加速度传感器原理及应用

三轴加速度传感器原理 　　目前的加速度传感器有多种实现方式，主要可分为压电式、电容式及热感应式三种，这三种技术各有其优缺点。以电容式3轴加速度计的技术原理为例。电容式加速度计可以感测不一样方向的加速度或振动等运动情况。其主要为利用硅的机械性质设计出的可移动机构：因为加速度使得机械悬臂与两个电极之间的距离发生变化，从而改变了两个电容的参数。经过集成的开关电容放大电路量测电容参数的变化，造成了与加速度

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