SECS半导体通信委员会参考书
适用文件是SECS半导体通信委员会创建的参考书。这些文件的目的是提供协议的结构和描述协议的通用方法。 SECS分为两个主要层次:物理连接和逻辑连接。 E4半导体设备通信标准1消息传输(SECS一)E37高速SECS消息服务(HSMS)通用服务E5半导体设备通信标准2消息内容(SECS二)E30半导体设备通信和控制通用模型(GEM) E90衬底跟踪规范E32材料移动管理(MMM) G84条带映射协议
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