mems加速度计的性能解答-传感器专题

mems加速度计的性能解答 线性度  线性度主要是为了使加速度计有较好的线性输出，即MEMS芯片输出的电压值（模拟或数字）与芯片受到的加速度值成正比。而事实上非线性因素是难以避免的，如弹簧的设计，阻尼系统的设计，可变电容结构的设计，还有信号的采集等或多或少都会产生一些非线性的效应。而MEMS加速度计的关键技术就是使这些非线性效应降低到能接受的程度。选用适当的机械结构设计，或研究开发一些新型的机械结

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