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版图DRC扫描线法的实现
时间 2021-07-12
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1、版图设计规则检查(DRC) 1.1 设计规则检查概述 IC设计逻辑电路最终需要以GDSII等版图文件格式交于Foundry厂商进入工艺生产线,版图是一组相互套合的图形,各层版图对应各自光刻工艺下的掩膜版图形,不同工艺水平下光刻掩膜版的设计规则也不尽相同。DRC文件即综合考虑电学性能与可靠性限制,按照工艺过程所要求的复杂限制来描述版图几何图形关系的规则文件。线宽、间距和覆盖规则是DRC文件中的
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