**高低温真空探针台测试系统**

特点/应用 ◆ 2至6英寸样品台 ◆ 高真空腔体 ◆ 防辐射屏设计，样品温度均匀性更好 ◆ 77K-675K高低温环境 ◆ 兼容IV/CV/RF测试 ◆ 外置多探针臂，移动行程大 ◆ 经济实用，可无缝升级 极低温测试: 因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转

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