晶圆表面瑕疵检测,实现高速在线检测晶圆瑕疵表面

实际上,晶圆表面瑕疵检测是将捕获的目标通过机器视觉产品的CCD图像传感器转换为图像信号,并发送到专用图像处理系统,以获取诸如像素分布,亮度和颜色之类的信息。这意味着将其转换为数字信号。这些信号执行各种操作以提取目标的特征,并根据识别结果在现场控制设备的操作。 CCD视觉检查装置可以代替人眼进行测量和判断,并且是用于制造,组装或包装的有价值的装置。它对于检测瑕疵和防止将瑕疵产品交付给消费者具有巨大的
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