集成电路工艺专题复习

    期末码一下集成电路工艺知识点，课本是施敏的《半导体器件与物理工艺》，课上只选讲了第三部分工艺。 填空题 在单晶衬底上生长另一单晶半导体层的生长技术叫做外延。 用于生长单晶砷化镓的双温区炉管叫做布里吉曼系统。 有多少分子在单位时间里撞击在单位面积的衬底上的参数叫做分子撞击率。 分子在连续两次碰撞期间，平均经过的距离叫做平均自由程。 合金的熔点比任何一种组成材料的熔点都低，最低熔点称为共晶温度

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