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亚微米SOI脊型波导(课堂笔记)
时间 2021-01-16
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目录 1.SOI脊型波导 2.taper登场 3.硅nano-slot波导(很奇特,光在折射率低的地方进行了传输) 总结 1.SOI脊型波导 首先脊型波导与直波导的区别在于ridge wg不把silicon全刻到底,如下图留出来35nm的距离,这个留出来的slab可以把电子空穴对有个输运的作用。 ridge wg相对于strip wg而言,side wall比较小,损耗会降低,应用可以做PN
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