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中南大学汪炼成教授课题组:三维金属-半导体-金属AlN深紫外探测器
时间 2021-01-11
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汪炼成,物理电子学博士,中南大学特聘教授,博士生导师,微电子科学与工程系副主任,高性能复杂制造国家重点实验室研究员。博士毕业于中科院半导体研究所, 先后在新加坡南洋理工大学,新加坡科技大学和英国谢菲尔德大学从事博士后研究工作,科研方向为第三代半导体电子/光电子器件和系统集成。 近日,中南大学汪炼成教授(通讯作者)课题组采用MOCVD 在蓝宝石(002)上外延生长了1.5 μm厚的AlN材料,AlN
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